晶瑞股份(300655)1月19日晚间公告，公司购得ASML XT 1900 Gi型光刻机一台。该设备于当日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步，公司将尽快完成设备的安装调试工作。此次购买旨在研发出更高端的ArF光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。
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晶瑞股份(300655)1月19日晚间公告，公司购得ASML XT 1900 Gi型光刻机一台。该设备于当日运抵苏州并成功搬入公司高端光刻胶研发实验室。下一步，公司将尽快完成设备的安装调试工作。此次购买旨在研发出更高端的ArF光刻胶，若研发工作进展顺利，将有助于公司将光刻胶产品序列实现到ArF光刻胶的跨越，并最终实现应用于12英寸芯片制造的战略布局。
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